省工信厅开展的江苏省首台（套）重大装备认定，旨在鼓励和引导装备企业技术创新，推动制造业高水平质量的发展，加快建设自主可控先进制造业体系，获得该资质认定，体现了企业产品在省内重点产业领域强链补链、自主可控的领先水平。

  首台（套）是指经过创新，其品种、规格或技术参数等有重大突破，具有自主知识产权但尚且还没有取得市场业绩的国际或国内首台（套）高端装备，整机性能或核心技术指标达到国内领先或国际同类装备先进水平。

  无锡华瑛微电子技术有限公司专注于世界首创的“动态薄层晶圆表面化学处理技术和设备”的研发，设计、制造技术先进、低成本、低资源消耗、高生产效率的新型半导体制造专用设备和新工艺。目前公司已成功攻破一系列技术问题和难点，设计、制造出3款获得业内多个头部企业认可的新型半导体制造生产专用设备和新工艺。目前公司已申请国内外专利157项。

  华瑛微Ultra DTL-ms300动态薄层晶圆表面污染提取测量设备基于公司独创的动态薄层DTL技术，拥有完全自主知识产权，可应用于半导体晶圆表面及基体内杂质和超微量污染的提取和检测，帮助半导体制造企业大幅度提升生产效率，确保芯片制造良率。

  江苏微导纳米科技股份有限公司是一家面向全球的高端设备制造商。公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体相关领域，以及新能源和柔性电子领域。公司先后获得国家专精特新“小巨人”企业、2021年度国家独角兽企业等荣誉，截止到2022年底，公司共取得授权专利97件，其中发明授权专利14件。

  微导纳米iTomic HiK原子层沉积设备是国内首台应用于28nm节点的集成电路制造前道生产的国产设备，已通过国内芯片制造企业产线验证，并获得重复订单，实现了我国ALD设备“从0到1”的突破，对我国半导体制造业强链补链、自主可控、降低设备采购成本等具备极其重大意义。

  无锡影速半导体科技有限公司是国内专业提供大规模集成电路用数字化光刻设备的集成厂商。产品可大范围的应用于集成电路、掩模板、MEMS器件、高端PCB制造和先进IC封装等领域。企业具有研发试验场地约4000平方米，配备激光干涉仪组件、线宽量测仪、定心仪、显影线、奥林巴斯显微镜、匀胶机等专业研发设备100余台。

  影速半导体DEM4000直写光刻机，属半导体行业上游生产设备，主要使用在于半导体制版、各类微电子、先进封装和半导体器件等多个领域，设备分辨率达到国际同类竞品水平，同时在产能与销售价格等方面有明显优势。

  近年来，无锡高新区（新吴区）致力于打造“6+2+X”现代产业集群，出台支持企业首台（套）认定、本地采购及产业化相关支持政策，引导智能装备企业高水平质量的发展。对获得江苏省、苏锡常首台（套）产品认定的企业分别给予最高30万元、20万元奖励；对首台（套）产品产业化按照5%的比例最高支持300万元；对区内企业单位采购新认定的首台（套）装备产品按照20%的比例，最高支持300万元。目前，全区累计已有35个装备产品获认，总数居全市第一。以先导智能、奥特维、微导纳米、日联科技等为代表的装备制造企业，持续加强技术创新，实现迅速增加，成长为国家单项冠军和专精特新“小巨人”企业，带动全区高端装备制造业产值突破千亿。

  下一步，无锡高新区（新吴区）将持续聚焦做强新能源、半导体和医疗器械等重点领域智能装备和关键核心部件产业集群，加强政策宣贯、项目储备和精准服务，积极推动高端装备企业产业链对接合作，支持首台（套）产品本地推广应用和产业化，加快做大做强，助力区域经济持续高水平质量的发展。